10月28日-30日,2025 VisionChina機器視覺展在深圳國際會展中心舉行。凌云光以“為半導體檢測裝上智慧之眼"為主題攜新品亮相。
面對芯片外觀檢測中對色彩還原度與一致性的極致要求,本次帶來了JAI棱鏡分光技術面陣成像解決方案。該方案的核心在于JAI Apex系列面陣相機,通過物理分光將光線分為R、G、B三個獨立通道,由三顆傳感器分別捕捉真彩圖像,從根本上杜絕了色彩串擾與偽色問題。

這不僅實現了遠超傳統相機的色彩保真度,更能以一機替代多工位配置,在高效檢出微米級色差、鍍膜異常等缺陷的同時,為客戶顯著節約了綜合成本。

除了能夠精確分離RGB三色光之外,還可以一次性獲取可見與近紅外光譜數據,支持多光譜融合與分析,拓展成像與檢測維度。

# 引線框架高速檢測:線掃成像解決方案
在芯片封裝環節,引線框架的高速檢測對成像系統提出了嚴苛的穩定性與速度要求。為此,JAI推出的高速檢測方案,采用高性能線陣相機,以16K分辨率與100kHz行頻的強大性能,確保在生產線全速運行時,仍能穩定輸出高清、完整的彩色圖像。

該方案通過“一機多光、多圖同源"的創新設計,在大幅節省工位與成本的同時,實現了對刮痕、異物、氧化沾污等多種細微缺陷的實時高效識別,成為保障封裝質量與生產節拍的“高速質量守門員"。

# 晶圓引導切割檢測:紅外成像解決方案
短波紅外成像技術憑借其對硅材料的高穿透性,能夠透過晶圓表面,清晰呈現內部結構與缺陷,因此在半導體前、后道制造中具有不可替代的價值。短波紅外面陣相機廣泛應用于曝光機Mark點定位、激光隱切設備的切割道引導、鍵合對位等關鍵任務,實現從“表觀檢測"到“內部洞察"的跨越。
凌云光本次展出的眼鏡蛇CB2000系列短波紅外面陣相機,成像波段覆蓋300–1400nm,兼具可見光與近紅外捕捉能力。憑借640x512分辨率與15μm像元設計,該相機在晶圓正切與背切等多種切割場景中均表現出優良的適應性。通過實時反饋切割過程數據,系統可輔助優化工藝參數,有效減少熱損傷,提升切割良率與工藝可控性。

在產品布局方面,凌云光已構建完善的短波紅外視覺產品線,共包含11款機型,分辨率覆蓋線陣(512/1K/2K)與面陣(0.3M/1.3M/5M),并提供GigE、Camera Link、USB3.0等多種接口選項,充分滿足不同系統在集成復雜度與引導速率方面的多樣化需求。
目前,該產品線已成功應用于光伏片隱裂檢測、晶圓鍵合氣泡識別、激光光斑分析及農產品分選等多個專業領域,為不同行業的無損檢測提供了高性價比的視覺解決方案。

本次展出的方案,分別針對“看得準"、“看得快"、“看得透"三大維度,是凌云光深耕半導體機器視覺領域的技術縮影。從晶圓制造到芯片封裝,凌云光正致力于以覆蓋可見光、紅外、線陣與面陣的完整視覺產品矩陣,為半導體全工藝鏈條提供從“看見"到“洞察"的可靠視覺底座。
VisionChina機器視覺展
精彩持續進行中
明年3月上海見





